Ein Laserstrahl, der zu einer Linie aufgeweitet wurde, wird von der Oberfläche des Messobjekts diffus reflektiert. Dieses reflektierte Profil gelangt auf das HSE3-CMOS-Lichtaufnahmeelement. Durch Auswertung der Position und Form der Reflexion lässt sich jetzt die Position beliebiger Punkte auf der Oberfläche des Objekts vermessen.