Digitalmikroskope

Koaxiale Beleuchtung

Wichtige Punkte im Überblick

Koaxialbeleuchtung ermöglicht es, spiegelnde, ebene Oberflächen zu betrachten, welche bei Ringbeleuchtung häufig zu dunkel sind.
Koaxiale (Hellfeld-)Beleuchtung nutzt einen halbdurchlässigen Spiegel zur Bündelung des Lichts.
Vertikal einfallendes Licht wird von spiegelnden Flächen zur Linse reflektiert und ermöglicht eine gleichmäßig beleuchtete Aufnahme.
Typische Anwendungen: ICs, geschnittene Proben und bearbeitete Metalloberflächen.

Optische Beleuchtungstechnik – Koaxiale Beleuchtung

Die Betrachtung stark reflektierender Objekte mit ebenen Oberflächen, wie z. B. ICs oder geschnittene Proben, ist mit Ringbeleuchtung in der Regel schwierig. Trifft Licht auf die Oberfläche, wird der Großteil davon von der Linse weg reflektiert, was zu einem dunklen Bild führt. Stattdessen wird koaxiale (Hellfeld-)Beleuchtung verwendet, um diese Objekte zu betrachten und eine aussagekräftige Aufnahme zu erzeugen. Üblicherweise wird bei dieser Beleuchtungsart ein halbdurchlässiger Spiegel eingesetzt, um die optischen Achsen von Beleuchtung und Linse aufeinander abzustimmen.

Schematische Darstellung des von einer spiegelnden Oberfläche reflektierten Lichts

Licht aus einem Winkel wird von der Linse weg reflektiert A: Linse B: Beleuchtung C: Reflektiertes Licht

Licht aus einem Winkel wird von der Linse weg reflektiert
A: Linse B: Beleuchtung C: Reflektiertes Licht

Vertikal beleuchtetes Licht wird zur Linse reflektiert

A: Beleuchtung
B: Linse & CCD
C: Reflektiertes Licht
D: Halbdurchlässiger Spiegel (Ein halbdurchlässiger Spiegel reflektiert die Hälfte des Lichts und lässt den Rest passieren)
E: Verspiegelte Oberfläche

Schematische Darstellung der koaxialen Beleuchtung

Beispiele für koaxiale Beleuchtung

Bearbeitete Metalloberfläche mit Ringbeleuchtung