Oberflächenabtastender konfokaler Laser-Wegmesssensor

Präzisionsmesssensor arbeitet nach dem Konfokalprinzip mittels Stimmgabel. Extrem präzise Abtastungen auf Grund des Horizontalschwingsystems

MERKMALE

• Hochpräzise Oberflächenabtastung
• Wegen der ausgezeichneten Auflösung von nur 0,3 μm auch für solche Anwendungen geeignet, die extrem präzise Messungen erfordern.
• Rasche und einfache Einstellung
• Mehrere Messarten für breiten Anwendungsbereich

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