3D Laserscanning-Mikroskop
Modellreihe VK-X3000
Steuergerät VK-X3000
*Bitte beachten Sie, dass das abgebildete Zubehör nur der Veranschaulichung dient und möglicherweise nicht im Lieferumfang des Produkts enthalten ist.
Technische Daten
Modell | VK-X3000 | |||
Typ | Steuergerät | |||
Gesamtvergrößerung | 42× bis 28800×*1 | |||
Sichtfeld | 11 bis 7398 μm | |||
Messprinzip | Konfokale Lochblendenoptik, Fokusvariation, Weißlichtinterferometrie, Spektrale Interferenz | |||
Wellenlänge des Lasers | VK-X3100: Halbleiterlaser, 404 nm | |||
Max. Geschwindigkeit der Lasermessung | Oberfläche: 125 Hz, Linie: 7900 Hz*2 | |||
Maximale Ausgangsleistung | 1,0 mW | |||
Laserklasse | Klasse 2 (DIN EN60825-1) | |||
Laser-Lichtempfangselement | 16-Bit-Photomultiplier | |||
Weiße Lichtquelle zur Beleuchtung | Weiße LED | |||
Weißlicht-Empfangselement | Hochauflösender CMOS-Chip | |||
Konfokaler Laser | Anzeigeauflösung in Z | VK-X3100: 0,1 nm | ||
Wiederholgenauigkeit (σ) in Z | VK-X3100: 10×: 100 nm, 20×: 40 nm, 50×: 12 nm | |||
Genauigkeit in Höhenrichtung | 0,2+L/100 μm oder weniger*3 | |||
Anzeigeauflösung in XY | VK-X3100: 0,1 nm | |||
Wiederholgenauigkeit (3σ) in XY | VK-X3100: 10×: 200 nm, 20×: 100 nm, 50×: 40 nm | |||
Genauigkeit in XY | Messwert ±2 % oder weniger*3 | |||
Fokusvariation | Anzeigeauflösung in Z | VK-X3100: 0,1 nm | ||
Wiederholgenauigkeit (σ) in Z | VK-X3100: 5×: 500 nm, 10×: 100 nm, 20×: 50 nm, 50×: 20 nm | |||
Genauigkeit in Höhenrichtung | 0,2+L/100 μm oder weniger*3 | |||
Anzeigeauflösung in XY | VK-X3100: 0,1 nm | |||
Wiederholgenauigkeit (3σ) in XY | VK-X3100: 5×: 400 nm, 10×: 400 nm, 20×: 120 nm, 50×: 50 nm | |||
Genauigkeit in XY | Messwert ±2 % oder weniger*3 | |||
Weißlichtinterferometrie | Anzeigeauflösung in Z | 0,01 nm | ||
Anzeigeauflösung in XY | 0,1 nm | |||
Wiederholgenauigkeit der Oberflächentopographie | 0,08 nm*4 | |||
Wiederholgenauigkeit von RMS | 0,008 nm*4 | |||
Spektroskopische Messung der Schichtdicke | Wiederholgenauigkeit σ | 0,1 nm*4 | ||
Genauigkeit | ±0,6 %*4 | |||
Optische Betrachtung | Anzahl der Pixel | 5,6 Millionen | ||
Revolver | 6-Loch-Revolver (motorisiert) | |||
Ringbeleuchtung | 2,5×, 5×, 10× | |||
Optischer Zoom | 1 bis 8× | |||
XY-Objekttisch- Konfiguration | Manueller Betriebsbereich | 70 mm × 70 mm | ||
Motorisierter Betriebsbereich | 100 mm × 100 mm | |||
Netzanschluss | Spannung | 100 bis 240 V AC, 50/60 Hz | ||
Leistungsaufnahme | 150 VA | |||
Umgebungsbeständigkeit | Umgebungstemperatur | + 15 bis + 28 °C | ||
Relative Luftfeuchtigkeit | 20 bis 80 % r.F. (keine Kondensation) | |||
Gewicht | Ca. 3 kg | |||
*1 Bei Verwendung mit einer 23-Zoll-Vollbildanzeige. |