Das Wirbelstromverfahren nutzt hochfrequente Magnetfelder. Das hochfrequente Magnetfeld wird erzeugt, indem ein hochfrequenter Strom durch die Spule im Innern des Messkopfes geleitet wird. Wird ein (metallisches) Messobjekt in dieses Magnetfeld hinein bewegt, bewirkt die elektromagnetische Induktion, dass der Magnetfluss über die Oberfläche des Messobjekts strömt und Wirbelströme in vertikaler Richtung fließen. Dadurch ändert sich die Impedanz des Sensors. Induktive Wegmesssensoren nutzen zur Messung des Abstands die resultierende Frequenzänderung.