Deutschland

Höhenmessung an einem Drahtbond

Height measurement of a wire bond

Halbleiterherstellung

Fehlerhafte Bondingdrähte können zu Leiterplatten-Fehlfunktionen führen.

Vorteil

Durch den 2-μm-Lichtpunkt und der doppelten Abtastung wird die Stabilität der Messungen gewährleistet.

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  • Bei den Sensoren der Modellreihe LT-9000 werden die Vorteile der Oberflächenabtastung mit einem konfokalen Aufbau kombiniert, was eine hochauflösende Wegmessung ermöglicht. Modelle mit einem kleinen Lichtpunkt von nur ø2 µm sind besonders für mikroskopische Werkstücke oder Profilmessungen geeignet. Die Oberflächenabtastung ermöglicht die hochpräzise Messung von geneigten oder rauen Oberflächen, während das konfokale Funktionsprinzip die Zuverlässigkeit bei dünnen Folien verbessert. Damit ist die Modellreihe LT-9000 für solche Anwendungen geeignet, die extrem präzise Messungen erfordern. Die integrierte Kamera erfasst klare Bilder der Oberfläche, wodurch die Messposition leicht identifiziert und der Sensor entsprechend ausgerichtet werden kann.