Deutschland

Messung der Exzentrizität an einer Waferhalterung

Eccentricity measurement of a susceptor

Halbleiterherstellung

Durch Exzentrizität werden unregelmäßige Teile erstellt.

Vorteil

Hohe Abtastrate und präzise Messergebnisse verringern die Zykluszeit und steigern somit die Produktivität.

Ultraschnelle und hochgenaue Laser-Wegmesssensoren