Deutschland

Messung der Exzentrizität an einer Waferhalterung

Eccentricity measurement of a susceptor

Halbleiterherstellung

Durch Exzentrizität werden unregelmäßige Teile erstellt.

Vorteil

Durch Hochgeschwindigkeitsabtastung und hochpräziser Messung kann die Zykluszeit erhöht werden.

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