Deutschland

Messung der Exzentrizität an einer Waferhalterung

Eccentricity measurement of a susceptor

Halbleiterherstellung

Durch Exzentrizität werden unregelmäßige Teile erstellt.

Vorteil

Hohe Abtastrate und präzise Messergebnisse verringern die Zykluszeit und steigern somit die Produktivität.

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