Oberflächenpositionierung und Profil des Messobjekts sind für die Qualität des fertigen Produkts von grundlegender Bedeutung.
Transparente, spiegelnde oder gemusterte Wafer können leicht positioniert werden.
Laser-Wegmesssensoren sollten hohe Abtast-Frequenzen, hohe Messgenauigkeit und bei jeder Anwendung eine hervorragende Leistung bieten. Um weltweit das Optimum anzustreben, wurden die Modelle vom Typ LK-G5000 mit den neuesten Technologien ausgestattet.
Sechs Messköpfe mit neu entwickelten Mess-Algorithmen und zwei unterschiedlichen optischen Systemen.