Zelldickenmessung

Aufgrund der dünnen Schicht muss mit hoher Präzision gemessen werden, um zu prüfen, ob die Anzahl der Schichten unterschiedlich ist. Die Zellspezifikationen können sich ändern, wenn die Anzahl der Schichten variiert. Prüfungen können mit einer hohen Auflösung von 0,1 μm und einer hohen Präzision von 1 μm durchgeführt werden. Die geringe Größe erleichtert die einfache Installation.