Positions-/Schwingungsmessung eines Manipulators

Bei Wafer-Handlingprozessen ist es wichtig, dass der nächste Bearbeitungsschritt erst gestartet wird, nachdem die durch das Anhalten des Manipulators entstandenen Restschwingungen abgeklungen sind. Durch den Einsatz eines konfokalen Wegmesssensors zur Prüfung, ob die Restschwingungen abgeklungen sind, kann eine Fehlfunktion der Anlage und eine fehlerhafte Bearbeitung im nächsten Bearbeitungsschritt verhindert werden.