Restvibration von Robotergreifern
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Industriebereich:
- Halbleiter/LCDs
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Produkte:
- Optische Messtechnik / Messtaster
Beim Transportprozess von Wafern, Fotomasken oder verwandten Teilen ist es wichtig, den nächsten Prozess zu starten, nachdem die Restvibration des Transportsystems abgeklungen ist. Der Einsatz eines konfokalen Wegmesssensors zur Überprüfung der Restvibration kann Anlagenfehlfunktionen und eine fehlerhafte Weiterverarbeitung verhindern.
