Überstand in der Wafer-Kassette

Selbst kleinste Überstände von Trägern können erkannt werden. Im Gegensatz zu konventionellen Messköpfen, die mit Lasertriangulation arbeiten, kann die Modellreihe CL für eine stabile Prüfung sorgen, ohne durch unregelmäßige Reflexionen von Messobjekten beeinträchtigt zu werden.

Konfokaler Wegmesssensor

Modellreihe CL-3000

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