Z-Achsensteuerung für Laser- Ritzgeräte

Die Z-Achse der Laser-Ritzgeräte wird durch Messen der Wafer- Höhe vor der Bearbeitung nachgeführt. Die Modellreihe CL berührt die Messobjekte während der Messung nicht und beeinflusst oder beschädigt sie daher auch nicht. Außerdem können die kompakten Messköpfe auch bei beengten Platzverhältnissen in Anlagen mit wenig Bauraum installiert werden.