Kerbenposition

Üblicherweise wird ein 1D-Laser-Wegmesssensor verwendet, um die Position von Kerben zu erkennen. Allerdings treten Probleme bei der Erkennung auf, wenn die Wafer dünner werden, da die Wölbung verhindern kann, dass der Lichtpunkt die Kerbe trifft. Die Laserlinie der Modellreihe LJ-X kompensiert jede durch Wafer-Wölbung verursachte Fehlausrichtung.