Wafer-Kantenprofil
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Industriebereich:
- Halbleiter/LCDs
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Produkte:
- Optische Messtechnik / Messtaster
Kantenprofile von Wafern werden nach dem Polieren gemessen. Die Modellreihe LJ-X kann die Querschnittsform sofort messen. Durch Drehen des Wafers kann das Kantenprofil entlang des gesamten Umfangs geprüft werden. Selbst kleinste Formänderungen können in sehr hoher Auflösung mit einem minimalen Profildatenintervall von 2,5 μm erkannt werden.
