Höhenmessung in einer Schleifmaschine

Mit Messköpfen, die in eine Schleifmaschine eingebettet sind, kann der Abstand zu einem Wafer berührungslos gemessen werden, um eine hochpräzise Spaltkontrolle zu ermöglichen. Die kompakten Messköpfe der Modellreihe CL können koaxial messen, was den Platzbedarf für die Installation reduziert.

Konfokaler Wegmesssensor

Modellreihe CL-3000

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