Position der Z-Achse bei Temperanlagen

Der Abstand zum Wafer kann während des Laser-Temperns gemessen werden. Die kompakten Messköpfe der Modellreihe CL können in Umgebungen mit wenig Bauraum angebracht werden. Das koaxiale Messverfahren stellt sicher, dass der Messpunkt unabhängig vom Abstand zwischen Messkopf und Messobjekt in einer gleichbleibenden Position bleibt, was präzise Messungen ermöglicht.