Höhe und Ebenheit von elektrostatischen Spannfuttern
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Industriebereich:
- Halbleiter/LCDs
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Produkte:
- Optische Messtechnik / Messtaster
Das Steuergerät berechnet die Ebenheit anhand der Höhenmessdaten von mehreren Messköpfen. Die Messköpfe der Modellreihe CL enthalten keine elektrischen Komponenten, so dass sie keine Wärme erzeugen. Diese Konstruktion verändert die Temperatur des Messkopfs nicht und ermöglicht so eine stabile Messung.
