Messen der Wafer-Wölbung durch ein Quarzglas

Die Wafer-Wölbung wird in einer Vakuum- oder Hochtemperaturumgebung durch Quarzglas hindurch gemessen. Die Messköpfe der Modellreihe CL sind kompakt, so dass sie in begrenzten Räumen mit Sichtöffnungen angebracht werden können. Die Modellreihe CL ist außerdem in der Lage, Messobjekte mit beliebiger Oberflächenbeschaffenheit zu messen.