Höhenmessung an einer Rotationsbeschichtungsanlage

Um eine stabile Schichtdicke zu erhalten, ist es wichtig, den Abstand zwischen Beschichtungskopf und Wafer genau einzustellen. Die kompakten Köpfe der Modellreihe CL lassen sich einfach installieren, so dass selbst auf reflektierenden Oberflächen wie Siliziumwafern ganz einfach präzise Abstandsmessungen durchgeführt werden können.