Messkopf Modell mit konfokalem Laser LM-X100L

LM-X100L - Messkopf Modell mit konfokalem Laser

*Bitte beachten Sie, dass das abgebildete Zubehör nur der Veranschaulichung dient und möglicherweise nicht im Lieferumfang des Produkts enthalten ist.

Datenblatt (PDF)

Handbücher

  • CE-Prüfzeichen
  • CSA

Technische Daten

Modell

LM-X100L

Typ

Messkopf

Bildsensor

1", 20-Megapixel-Monochrom-CMOS

Objektiv

Beidseitig telezentrisches Objektiv

Bildgestützte Messung

Bildfeld

Messmodus mit breitem Bildfeld

325 mm × 175 mm

Hochpräziser Messmodus

306 mm × 156 mm

Anzeigeauflösung

0,1 μm

Wiederholgenauigkeit

Innerhalb des Bildfelds der Kamera (2 σ)

Messmodus mit breitem Bildfeld

±0,5 μm

Hochpräziser Messmodus

±0,1 μm

Mit Objekttisch-Verschiebung

X/Y-Achse

±0,9 μm

X/Y-Ebene

Messgenauigkeit

Innerhalb des Bildfelds der Kamera (2 σ)

Messmodus mit breitem Bildfeld

±2 μm *1

Hochpräziser Messmodus

±0,7 μm *2

Mit Objekttisch-Verschiebung

X/Y-Achse (EUX,MPE , EUY,MPE)

±(1,8 + 0,02 L) μm *3

X/Y-Ebene (EUXY,MPE)

±(2,8 + 0,02 L) μm *3

AF-Höhenmessung

Wiederholgenauigkeit

±2 μm

Messgenauigkeit (EUZ,MPE)

±(4,8 + 0,04 L) μm *4

Laser-Höhenmessung

Messbarer Bereich (X/Y)

239 mm × 146 mm

Anzeigeauflösung

0,1 μm

Wiederholgenauigkeit

±0,6 μm *5

Messgenauigkeit (EUZ,MPE)

±(4,8 + 0,04 L) μm *4

Lichtpunktdurchmesser

ø50 μm

Laserklasse

Klasse 1

Externer Remote-Eingang

Spannungsloser Eingang (mit und ohne Kontakt)

Externer Ausgang

I.O./N.i.O./FEHLGESCHLAGEN/MESSUNG

PhotoMOS-Ausgang
Nennlast: 24 VDC, 0,5 A
EIN-Widerstand: max. 50 mΩ

Beleuchtungssystem

Durchlicht

Telezentrische Durchlichtbeleuchtung (grüne LED)

Ring

Mehrfachwinkel-Beleuchtung mit vier Segmenten, (elektrisch, farbige/weiße LED)
Flachwinkel-Beleuchtung (Richtungsbündelung, elektrisch, grüne LED)
Telezentrische koaxiale weiße LED-Beleuchtung

Externe Beleuchtungssteuerung

Lichtmengenregelung

PWM-Regelung, 100 kHz

Ausgangsspannung

12 V DC

Ausgangsstrom

max. 1,6 A

XY-Objekttisch

Verfahrweg

300 mm × 150 mm
(elektrisch)

Maximale Gewichtsbelastung

7 kg

Z-Objekttisch

Verfahrweg

75 mm (elektrisch)

Netzanschluss

Spannung

100 bis 240 VAC ±10% (50/60 Hz)

Leistungsaufnahme

max. 150 VA

Umgebungsbeständigkeit

Umgebungstemperatur

+10 bis 35°C *6

Relative Luftfeuchtigkeit

20 bis 80% RL (keine Kondensation)

Überspannungskategorie

ll

Verschmutzungsgrad

2

Gewicht

Ca. 34 kg

*1 Im Bereich von 20 mm × 20 mm und bei einer Umgebungstemperatur im Betrieb von +23°C ±1°C bei fokussierter Fokuspunktposition.
*2 Im Bereich von 5 mm × 5 mm und bei einer Umgebungstemperatur im Betrieb von +23°C ±1°C bei fokussierter Fokusposition
*3 Gemäß ISO 10360-7, bei einer Umgebungstemperatur im Betrieb von +23°C ±1°C, bei fokussierter Fokuspunktposition und bei einer Messtischlast von max. 2 kg (L = X/Y-Verschiebung des Messtisches in mm)
*4 Gemäß ISO 10360-7, für Ebene-zu-Punkt-Höhe, bei einer Umgebungstemperatur im Betrieb von +23°C ±1°C und bei Einstellung der maximalen Messung auf 50 mm oder weniger, (L = Z-Verschiebung des Messtisches in mm)
*5 Interne Messung eines Standardmessobjekts bei einer Umgebungstemperatur im Betrieb von +23°C ±1°C
*6 Bei einer XY-Verfahrgeschwindigkeit des Messtisches von 80 mm/s: +15 bis 35°C

Datenblatt (PDF) Andere Modelle