Präzisions-Messkopf LM-XC100TL

LM-XC100TL - Präzisions-Messkopf

*Bitte beachten Sie, dass das abgebildete Zubehör nur der Veranschaulichung dient und möglicherweise nicht im Lieferumfang des Produkts enthalten ist.

  • CE-Prüfzeichen
  • CSA

Technische Daten

Modell

LM-XC100TL

Typ

Messkopf

Bildgestützte Messung

Bildfeld

Breitfeld-Modus [mm]

25 × 25

Präzisionsmodus [mm]

6 × 6

Anzeigeauflösung

0,1 μm

Wiederholgenauigkeit

Im Bildfeld (2σ)

Breitfeld-Modus

0,5 μm

Präzisionsmodus

0,1 μm

Messgenauigkeit

Breitfeld-Modus

1,8 μm*1

Präzisionsmodus

0,7 μm*2

Laserhöhe

Referenzabstand

70 mm

Wiederholgenauigkeit

σ ≦ 0,6 μm

Lichtpunktdurchmesser

ø50 μm

Linearität

±2 μm*3

Laserklasse

Klasse 1

Messtaster

Wiederholgenauigkeit

± 1 μm

Antastkraft

0,015 N*4

AF-Höhe

Wiederholgenauigkeit

± 2 μm

Beleuchtungssystem

Durchlicht

Telezentrische Durchlichtbeleuchtung mit grüner LED

Koaxial

Mehrfachwinkel-Beleuchtung mit vier Segmenten (elektrisch) mit farbiger und weißer LED

Seitliche Flachwinkel-Beleuchtung mit grüner LED (Richtungsbündelung, elektrisch)

Telezentrische koaxiale Beleuchtung mit weißer LED

Umgebungsbeständigkeit

Umgebungstemperatur

+10 bis 35°C *5

Gewicht

11 kg

*1 Im Bereich von 20 × 20 mm, bei einer Umgebungstemperatur im Betrieb von +23 ± 1°C bei Fokuspunkt.
*2 Im Bereich von 5 × 5 mm, bei einer Umgebungstemperatur im Betrieb von +23 ± 1°C bei Fokuspunkt.
*3 Wert gemessen mit KEYENCE Referenzwerkstück, eigenständige Leistung des Lasers
*4 Referenzwert
*5 +15 bis 35°C bei 120 mm/s Verfahrgeschwindigkeit des XY-Objekttisches.

Datenblatt (PDF) Andere Modelle