Im Gegensatz zu typischen Halbleitern, die Daten verarbeiten, wie z. B. CPUs und Speicher, steuern Leistungshalbleiter elektrische Ströme und werden als Leistungsbauelemente bezeichnet. In diesem Abschnitt werden Beispiele für die Betrachtung und Messung von Leistungshalbleitern (Leistungsbauelemente) mit einem Digitalmikroskop vorgestellt.

Betrachtung und Messung von Leistungshalbleitern (Leistungsbauelemente) mit einem Digitalmikroskop

Was ist ein Leistungshalbleiter?

Obwohl nicht eindeutig definiert, werden Halbleiter, die eine große Menge an Spannung und Strom steuern und einen Nennstrom von 1 A oder mehr haben, allgemein als Leistungshalbleiter bezeichnet.

Funktionen von Leistungshalbleitern

Wechselrichter:
Wandelt Gleichstrom (DC) in Wechselstrom (AC) um.
  • A: Wechselrichter
  • a: Gleichstrom
  • b: Wechselstrom
Gleichrichter:
Wandelt Wechselstrom (AC) in Gleichstrom (DC) um.
  • A: Gleichrichter
  • a: Wechselstrom
  • b: Gleichstrom
Frequenzumformer:
Wandelt die Frequenz von Wechselstrom (AC) um.
  • A: Frequenzumformer
  • a: Wechselstrom
Regler:
Wandelt die Gleichspannung (DC) um.
  • A: Regler
  • a: Gleichstrom

Arten und Eigenschaften von Leistungshalbleitern

Leistungsdiode

Funktion: Gleichrichtung
Leistungsdioden leiten den Strom in eine Richtung, ohne zu schalten.

Leistungstransistor

Funktion: Umschaltung und Verstärkung

Thyristor
Thyristoren waren die ersten Leistungstransistoren, die verfügbar waren, und zeichnen sich durch eine hohe Spannungsfestigkeit aus.
Leistungs-Metall-Oxid-Halbleiter-Feldeffekttransistor (MOS FET)
Leistungs-MOS-FETs zeichnen sich durch hohe Geschwindigkeit und hohe Frequenz aus. Diese Leistungstransistoren werden üblicherweise für Produkte mit einer niedrigen Spannungsfestigkeit von bis zu ca. 200 V verwendet. Sie kommen häufig in IT-Geräten wie Laptops zum Einsatz.
Bipolartransistor mit isolierter Gate-Elektrode (IGBT)
IGBTs zeichnen sich durch hohe Spannungsfestigkeit, hohe Geschwindigkeit und hohe Frequenz aus. Diese Leistungstransistoren werden in der Regel für Produkte mit einer mittleren bis hohen Spannungsfestigkeit von 200 V oder mehr verwendet. Dazu gehören Elektrofahrzeuge, Hybridfahrzeuge und Eisenbahnwaggons.

Beispiele für die Betrachtung und Messung von Leistungshalbleitern mit einem Digitalmikroskop

Im Folgenden werden die neuesten Beispiele für die Betrachtung und Messung von Leistungshalbleitern mithilfe eines Digitalmikroskops der Modellreihe VHX von KEYENCE vorgestellt.

3D-Messung von Dellen durch Messtaster auf einem Leistungshalbleiter
1000×, Koaxialbeleuchtung
3D-Messung einer Delle durch Messtaster an einem IGBT
1000×, Koaxialbeleuchtung

Betrachtung eines defekten Teils an einem Leistungshalbleiter

Oberflächenunregelmäßigkeiten werden im optischen Schatteneffekt-Modus sichtbar. So lässt sich schnell feststellen, ob fehlerhafte Bereiche durch Adhäsion oder Dellen verursacht wurden.

200×, Koaxialbeleuchtung
Optischer Schatteneffekt-Modus (Farbkarte)

Betrachtung eines Materials für Leistungshalbleiter-Wafer

Die Funktion zur Optimierung von ringförmigen Reflexionen beseitigt Reflexionen auf den Oberflächen.

100×, Ringbeleuchtung
Optimierung von ringförmigen Reflexionen

Betrachtung von Füllmaterial in einem Leistungshalbleiter-Kunststoff

Die Verwendung der HDR-Funktion verbessert den Kontrast und ermöglicht eine Profilmessung des Füllmaterials.

1000×, Koaxialbeleuchtung + HDR
Automatische Flächenmessung