Triple Principle Integrated

Das 3D Laserscanning-Mikroskop integriert mit konfokalem Laser, Fokusvariation und Weißlichtinterferometrie drei verschiedene Messmethoden in einem Gerät.
Die Auswahl der geeigneten Messmethode für das Material und den Messbereich des Objekts gewährleistet eine hochpräzise Auswertung.

Weißlicht-interferometrie
Konfokaler Laser
Fokusvariation

Hochpräzise Auflösung bis zu 0,01nm

Mit dem VK-X3000 können Formen und Strukturen bis in den Nanometerbereich mit hoher Präzision gemessen und analysiert werden.
Hierbei sind auch herausfordernde Materialien, welche über transparente oder spiegelnde Oberflächen verfügen, exakt und zeitsparend auswertbar.

Analyse großer Messbereiche

Große Messbereiche von 50 mm x 50 mm sind selbst bei Messobjekten mit großen Höhenunterschieden und einer ausgeprägten Oberflächentopographie leicht zu erfassen.
Dies ermöglicht schnelle und detaillierte Analysen einer Vielzahl von Objekten.

Hochpräzise Oberflächenerfassung sowohl bei geringer als auch bei hoher Vergrößerung

Vielfältige, hochauflösende Oberflächenanalyse