Konfokales 3D Laserscanning-MikroskopModellreihe VK-X

VK-X260K

Messeinheit

TECHNISCHE DATEN

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Modell

VK-X260K

Gesamtvergrößerung

Bis zu 28800×*1

Bildfeld (Mindestbereich)

11 µm bis 5400 µm

Bildrate

Lasermessgeschwindigkeit

4 bis 120 Hz, 7,900 Hz*2

Messprinzip

Optisches System

Konfokale Lochblendenoptik

Lichtaufnahmeelement

Photomultiplier, 16-Bit-Erfassung

Abtastmethode (bei Standardmessungen und Bildzusammensetzung)

Automatische Einstellung des oberen/unteren Grenzwerts, schnelle Laserlichtintensitätseinstellung (AAGII),
Automatische Erkennung / Neuerfassung von Bereichen mit zu wenig Reflexion (Double Scan)

Höhenmessung

Z-Auflösung

0,5 nm

Linearmaßstab

Dynamikbereich (unterstützte Breite für reflektiertes Licht vom Werkstück)

16 Bit

Wiederholgenauigkeit σ

20×: 40 nm, 50×: 12 nm, 150×: 12 nm*3

Speicher für Z-Achsmessung

14 Millionen Stufen

Genauigkeit

0,2 + L/100 µm oder genauer*4*5

Stativ-Konfiguration

Stativ

Messkopf jederzeit abnehmbar & beliebig auf andere Stative & Portale montierbar (Unterbau nicht notwendig für Messungen)

Maximale Höhe des Messobjekts

28 mm, 128 mm (mit optionalem Erweiterungsstativ), unbegrenzt (durch leicht abnehmbaren Messkopf)

Breitenmessung

Display-Auflösung

1 nm

Wiederholgenauigkeit 3σ

20×: 100 nm, 50×: 40 nm, 150×: 20 nm*3

Genauigkeit

±2%*3

XY-Objekttisch-Konfiguration

Manuell: Betriebsbereich

70 mm×70 mm

Motorbetrieben: Betriebsbereich

100 mm × 100 mm*6

Betrachtung

Bildoptionen

Hochauflösendes CCD-Farbbild
Konfokales 16-Bit Laserfarbbild
Konfokale Optik mit ND-Filter
C-Laser DIK-Bild (Differential-Interferenz-Kontrast)

Maximale Auflösung der Aufnahme

3072×2304

Laserlichtquelle für Messungen

Wellenlänge

Violetter Halbleiter-Laser, 408 nm

Maximale Ausgangsleistung

0,95 mW

Laserklasse

Lasereinrichtung der Klasse 2 (DIN EN60825-1)

Gewicht

Mikroskop

Circa 26 kg (ohne Messkopf circa 10 kg)

Steuerung

Circa 11 kg

*1 Bei Vollbildanzeige auf 23 Zoll Bildschirm.
*2 Bei ma x imaler Geschwindigkeit und Verwendung einer Kombination aus Messmodus/Messqualität/Objektivvergrößerung. Wenn die Zeilenabtastung innerhalb eines Messabstands von 0,1 µm liegt.
*3 Bei Messung des Referenzmaßstabs mit dem 20×-Objektiv (oder höher) bei einer Umgebungstemperatur von 20 ± 2°C. Mit Ausnahme des VK-X120K/130K mit dem 100×-Objektiv.
*4 Bei Messung des Referenzmaßstabs mit dem 20x -Objektiv (oder höher) bei einer Umgebungstemperatur von 20 ±2 °C. Mit Ausnahme des VK-X120K/130K mit dem 100x-Objektiv.
*5 L = Vertikale Messlänge in µm
*6 Mit motorbetriebenem Objekttisch.

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