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          Konfokales 3D Laserscanning-MikroskopModellreihe VK-X

          VK-X130K

          Messeinheit

          [Discontinued model]

          This model has been discontinued.

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          Modell

          VK-X130K

          Gesamtvergrößerung

          Bis zu 19200×*1

          Bildfeld (Mindestbereich)

          16 µm bis 5400 µm

          Bildrate

          Lasermessgeschwindigkeit

          4 bis 120 Hz, 7,900 Hz*2

          Messprinzip

          Optisches System

          Konfokale Lochblendenoptik

          Lichtaufnahmeelement

          Photomultiplier, 16-Bit-Erfassung

          Abtastmethode (bei Standardmessungen und Bildzusammensetzung)

          Automatische Einstellung des oberen/unteren Grenzwerts, schnelle Laserlichtintensitätseinstellung (AAGII),
          Automatische Erkennung / Neuerfassung von Bereichen mit zu wenig Reflexion (Double Scan)

          Höhenmessung

          Z-Auflösung

          5 nm

          Linearmaßstab

          Dynamikbereich (unterstützte Breite für reflektiertes Licht vom Werkstück)

          16 Bit

          Wiederholgenauigkeit σ

          20×: 40 nm, 50×: 20 nm, 100×: 20 nm*3

          Speicher für Z-Achsmessung

          1,4 Millionen Stufen

          Genauigkeit

          0,2 + L/100 µm oder genauer*4*5

          Stativ-Konfiguration

          Stativ

          Messkopf jederzeit abnehmbar & beliebig auf andere Stative & Portale montierbar (Unterbau nicht notwendig für Messungen)

          Maximale Höhe des Messobjekts

          28 mm, 128 mm (mit optionalem Erweiterungsstativ), unbegrenzt (durch leicht abnehmbaren Messkopf)

          Breitenmessung

          Display-Auflösung

          10 nm

          Wiederholgenauigkeit 3σ

          20×: 100 nm, 50×: 50 nm, 100×: 30 nm*3

          Genauigkeit

          ±2%*3

          XY-Objekttisch-Konfiguration

          Manuell: Betriebsbereich

          70 mm×70 mm

          Motorbetrieben: Betriebsbereich

          100 mm × 100 mm*6

          Betrachtung

          Bildoptionen

          Hochauflösendes CCD-Farbbild
          Konfokales 16-Bit Laserfarbbild
          Konfokale Optik mit ND-Filter
          C-Laser DIK-Bild (Differential-Interferenz-Kontrast)

          Maximale Auflösung der Aufnahme

          3072×2304

          Laserlichtquelle für Messungen

          Wellenlänge

          Roter Halbleiter-Laser, 658 nm

          Maximale Ausgangsleistung

          0,95 mW

          Laserklasse

          Lasereinrichtung der Klasse 2 (DIN EN60825-1)

          Gewicht

          Mikroskop

          Circa 25 kg (ohne Messkopf circa 8,5 kg)

          Steuerung

          Circa 11 kg

          *1 Bei Vollbildanzeige auf 23 Zoll Bildschirm.
          *2 Bei ma x imaler Geschwindigkeit und Verwendung einer Kombination aus Messmodus/Messqualität/Objektivvergrößerung. Wenn die Zeilenabtastung innerhalb eines Messabstands von 0,1 µm liegt.
          *3 Bei Messung des Referenzmaßstabs mit dem 20×-Objektiv (oder höher) bei einer Umgebungstemperatur von 20 ± 2°C. Mit Ausnahme des VK-X120K/130K mit dem 100×-Objektiv.
          *4 Bei Messung des Referenzmaßstabs mit dem 20x -Objektiv (oder höher) bei einer Umgebungstemperatur von 20 ±2 °C. Mit Ausnahme des VK-X120K/130K mit dem 100x-Objektiv.
          *5 L = Vertikale Messlänge in µm
          *6 Mit motorbetriebenem Objekttisch.

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