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          Konfokales 3D Laserscanning-MikroskopModellreihe VK-X

          VK-X1050

          Messkopf: Roter Halbleiterlaser

          TECHNISCHE DATEN

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          Modell

          VK-X1050

          Typ

          Messkopf

          Gesamtvergrößerung

          Bis zu 28,800 x*1

          Bildfeld

          11 µm bis 7,398 µm

          Bildrate (Lasermessgeschwindigkeit)

          4 bis 125 Hz, 7,900 Hz*2

          Messprinzip

          Optisches System

          Konfokale Lochblendenoptik, Fokusvariation

          Lichtaufnahmeelement

          16-Bit-Erfassung: Photomultiplier, Hochauflösender CMOS-Chip

          Abtastmethode (bei Standardmessungen und Bildzusammensetzung)

          Automatische Einstellung des oberen/unteren Grenzwerts, schnelle Laserlichtintensitätseinstellung (AAGII) , Automatische Erkennung/Neuerfassung von Bereichen mit zu wenig Reflexion (Double Scan)

          Höhenmessung

          Anzeigeauflösung

          5 nm

          Linearmaßstab

          Dynamikbereich

          16-Bit

          Wiederholgenauigkeit σ

          Laser, konfokal

          20 x, 40 nm; 50 x, 20 nm

          Fokusvariation

          5 x, 500 nm; 10 x, 100 nm; 20 x, 50 nm; 50 x, 30 nm

          Bereich der Höhendatenerfassung

          0,7 Millionen Stufen

          Genauigkeit

          0,2 + L /100 µm oder genauer*3

          Breitenmessung

          Anzeigeauflösung

          10 nm

          Wiederholgenauigkeit 3σ

          Laser, konfokal

          20 x, 100 nm; 50 x, 50 nm

          Fokusvariation

          5 x, 400 nm; 10 x, 400 nm; 20 x, 120 nm; 50 x, 65 nm

          Genauigkeit

          ±2 %*3

          XY-Objekttisch-Konfiguration

          Manuell: Betriebsbereich

          70 mm x 70 mm

          Motorisiert: Betriebsbereich

          100 mm x 100 mm

          Betrachtung

          Bildoptionen

          Hochauflösendes CMOS-Farbbild Konfokales 16-Bit Laserfarbbild Konfokale Optik mit ND-Filter C-Laser DIK-Bild (Differential-Interferenz-Kontrast)

          Beleuchtung

          Auflichtbeleuchtung (Ringbeleuchtung) , Koaxialbeleuchtung

          Laserlichtquelle für Messungen

          Wellenlänge

          Roter Halbleiter-Laser, 661 nm

          Maximale Ausgangsleistung

          1 mW

          Laserklasse

          Lasereinrichtung der Klasse 2 (DIN EN60825-1)

          Netzanschluss

          Spannung

          100 bis 240 V AC, 50/60 Hz

          Verbrauch

          150 VA

          Gewicht

          Ca. 13,0 kg

          *1 Bei Vollbildanzeige auf 23 Zoll Bildschirm.
          *2 Bei maximaler Geschwindigkeit und Verwendung einer Kombination aus Messmodus/Messqualität/Objektivvergrößerung. Wenn die Zeilenabtastung innerhalb eines Messabstands von 0,1 µm liegt.
          *3 Bei der Messung eines Standardmessobjekts (Referenzmaßstabs) mit einem 20 x-Objektiv (oder höher).

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