Spektralinterferenz-Reflexionsverfahren
Modellreihe SI

Modellreihe SI

Zur Messung der Wölbung werden Messinstrumente, die das Spektralinterferenzverfahren erzwingen, an drei Punkten eingesetzt. Die gemessenen Werte der einzelnen Punkte werden dann an das Steuergerät gesendet. Dort werden Berechnungen ausgeführt, die das Messergebnis liefern.

Besondere Merkmale

  • Hochpräzise Auflösung von 1 nm
  • Keine Beeinträchtigung durch Umgebungstemperatur
Modellreihe SI-F
Spektralinterferenz-Laser-Wegmesssensor
Modellreihe SI-F