Leistungsstarke digitale Ultraschallsensoren

Modellreihe FW

Halbleiter-, Elektronik-, Elektroindustrie

Vielfältige Anwendungsgebiete

Wafer im Reinigungsprozess erkennen

Wafer im Reinigungsprozess erkennen

Auch in dunstiger Atmosphäre, gleich nach dem Schneiden, werden Wafer zuverlässig erkannt.

Geschlitzte Substrate beim Transferprozess erkennen

Geschlitzte Substrate beim Transferprozess erkennen

Bei herkömmlichen photoelektrischen Sensoren kommt es aufgrund der Farbgebung und der geschlitzten Struktur des Substrates zu unvermeidlichen Schwierigkeiten. Die Modellreihe FW sorgt für eine zuverlässige Erkennung, die durch Farbgebung und kleine Schlitze nicht beeinträchtigt wird.

Stegmaterialspannung steuern

Stegmaterialspannung steuern

Aufgrund von Transparenz und unregelmäßiger Oberfläche gestaltet sich die zuverlässige Erkennung mit photoelektrischen Sensoren als schwierig. Die Modellreihe FW lässt sich durch Vorsprünge und Vertiefungen nicht von ihrer Präzision abbringen. Darüber hinaus kann über die beiden Ausgänge separat auf Überschreitungen der Ober- und Untergrenzen reagiert werden.

Wafer seitlich versetzt erkennen

Wafer seitlich versetzt erkennen

Aufgrund der minimalen Höhendifferenzen zwischen Wafer und Untergrund erweist sich die Erkennung gewöhnlich als schwierig. Hier gewährleistet die Modellreihe FW eine zuverlässige Erkennung, indem Ultraschallwellen seitlich versetzt auftreffen und leichte Reflexionen an der Kante bewirken.

Wafer in einem Magazin erkennen

Wafer in einem Magazin erkennen

Die Modellreihe FW lässt sich zur Erkennung von restlichen Wafers einsetzen. Eine Erkennung mit reflektiven Sensoren ist hier schwierig, da Licht durch die Oberflächenbeschichtung der Wafer absorbiert wird. Die Geräte der Modellreihe FW werden durch Oberflächenbeschichtungen oder glänzenden Untergrund nicht beeinflusst.

Flüssigkeitspegel einer Reinigungslösung steuern

Flüssigkeitspegel einer Reinigungslösung steuern

Mit der Modellreihe FW lassen sich Flüssigkeitspegel zuverlässig steuern. Über die beiden Ausgänge kann separat auf Überschreitungen der Ober- und Untergrenzen reagiert werden. Darüber hinaus ermöglicht der spezielle Flüssigkeitserkennungsmodus vielfältige Steuerungsmöglichkeiten mit minimaler Vorbereitung.

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