Oberflächenabtastender konfokaler Laser-Wegmesssensor

Modellreihe LT-9000

Messobjekte mit rauer Oberfläche

Unschlagbare Leistung bei Automations- und Messanwendungen.

Messung rauer Oberflächen

Rauer Oberflächen

Messung rauer Oberflächen

Die Modellreihe LT-9000 kann die Dicke eines Schutzglases sowie den Spalt zwischen dem Schutzglas und dem CCD-Element gleichzeitig messen. Die Modellreihe LT-9000 kann die Neigung des Schutzglases sowie die Neigungsdifferenz zwischen dem Schutzglas und dem CCD-Element gleichzeitig messen. Die Lichtintensitätsintegration sowie das Laser-Abtastverfahren bieten eine hohe Stabilität. Messung der Verwerfung an einem Wafer. Die Verwerfung eines Wafers mit einem Muster kann präzise und stabil gemessen werden.

Messung des Oberflächenkorrosionsprofils

Oberflächenkorrosionsprofils

Messung des Oberflächenkorrosionsprofils

Der Oberflächen-abtastende konfokale Laser-Wegmessgeber der Modellreihe LT-9000 misst das Oberflächenprofil von Metallproben nach der Korrosion. Die Messauflösung beträgt 0,3 μm. Der 2- m große Lichtpunkt ermöglicht eine präzise Nachverfolgung von Probenprofilen.

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Optische Messtechnik / Messtaster