IM-6120
[Breitfeld-Modell]
IM-6025/6015
[Allround-Modell]
IM-6140
[Hochpräzisionsmodell für Kleinstteile]
Bildfeld φ100×200mm
☐25×125mm
φ100mm
φ25mm
φ6mm
Wiederholgenauigkeit Ohne Objekttischbewegung: ±1 μm
Mit Objekttischbewegung: ±2 μm
Ohne Objekttischbewegung: ±0,5 μm
Mit Objekttischbewegung: ±1,5 μm
±1μm
±0.5μm
±0.1μm
Beleuchtungssystem
Automatische Höheneinstellung