Konfokales 3D Laserscanning-MikroskopModellreihe VK-X

VK-X100K

Lasermikroskop für Formmessungen

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Modell

VK-X100K

Typ

Steuergerät

Vergrößerung des Objektivs

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 100x

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 200x

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 400x

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 1000x

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 2000x

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 3000x

Betrachtungs-/
Messbereich

Horizontal (H): μm

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 100x

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 200x

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 400x

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 1000x

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 2000x

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 3000x

Vertikal (V): μm

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 100x

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 200x

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 400x

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 1000x

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 2000x

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 3000x

Arbeitsabstand: mm

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 100x

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 200x

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 400x

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 1000x

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 2000x

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 3000x

Numerische Apertur (NA)

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 100x

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 200x

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 400x

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 1000x

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 2000x

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 3000x

Optischer Zoom

1- bis 8x

Gesamtvergrößerung

100- bis 8000fach

Optik für Betrachtung/Messung

Konfokale Optik mit Lochblende

Höhenmessungen

Messbereich

7 mm

Höhenmessung

Z-Auflösung

0,005 μm

Wiederholgenauigkeit σ

0,02 μm *1

Breitenmessung

Display-Auflösung

0,01 μm

Wiederholgenauigkeit 3σ

0,05 μm *2

Frame-Speicher

Pixelanzahl

2048 x 1536, 1024 x 768, 1024 x 64

Für Monochrombild

16 Bit

Für Farbbild

Je 8 Bit für RGB

Für Höhenmessungen

21 Bit

Bildfrequenz

Oberflächenabtastung

4 bis 120 Hz

Zeilenabtastung

7900 Hz

Automatik

AAG (automatische Verstärkung), Autofokus, automatische Einstellung des oberen/unteren Grenzwerts, Helligkeitseinstellungen für die Doppelabtastung

Laserlichtquelle für Messungen

Wellenlänge

Roter Halbleiterlaser, 658 nm

Maximale Ausgangsleistung

0.95 mW

Laserklasse

Lasereinrichtung der Klasse 2 (IEC60825-1, FDA (CDRH) Part 1040.10 *3)

Lichtempfangselement

PMT (Photoelectron Multiplier Tube)

Lichtquelle für optische
Betrachtungen

Lampe

100 W Halogenlampe

Farbbildkamera für
optische
Betrachtungen

Bildverarbeitungskomponente

1/3"-CCD-Farbbildempfänger

Aufnahmeauflösung

Extrem hohe Auflösung (3072 x 2304)

Automatische Einstellung

Verstärkung, Verschlusszeit

Datenverarbeitungseinheit

Spezieller Computer von KEYENCE mit dem VK-X mitgeliefert (Betriebssystem: Windows 7 Professional Edition) *4

Nennwerte

Stromspannung

100 bis 240 VAC, 50/60 Hz

Stromverbrauch

max. 450 VA

Gewicht

Circa 11 kg

*1 Bei Messung eines Standard-Höhenunterschieds von 2 μm mit dem 50fachen-Objektiv
*2 Bei Messung der Linienbreite von 1 μm auf der KEYENCE-Testkarte mit dem 50fachen-Objektiv (optischer Zoom 2x) im Linien-Peak-Modus (Bildmittelung: 8 Mal)
*3 Die auf IEC60825-1 basierende Einstufung erfolgt gemäß den einschlägigen US-Bestimmungen: “FDA (CDRH) Laser Notice No. 50”.
*4 Windows 7 ist eine eingetragenes Warenzeichen des Unternehmens Microsoft, USA.

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